Die Bungard Titan 3500 ist eine Vertikal-Ätzmaschine für Präzisionsanwendungen. Im Gegensatz zu konventionellen Ätz- oder Entwicklermaschinen wird das Substrat während des Ätzvorgangs auf einem Spannrad gedreht. Dadurch werden Vorzugsrichtungen und Prozessstreifen sicher vermieden und Unterätzung verringert und ausgeglichen.

Das Substrat wird in das Spannrad eingespannt und das Spannrad von oben in die Maschine eingehängt. Die Spezialdüsen sind innen so konstruiert, dass der volle Sprühkegel mit einem Drall auf das rotierende Substrat trifft. Während des Ätzvorganges wird über einen Getriebemotor und Transportwalzen das Spannrad ständig gedreht. Das rotierende Spannrad und der Drall des Sprühkegels der Präzisionsvollkegeldüsen sichern im Zusammenwirken mit dem gleichmäßigen Flüssigkeitsablauf des Ätzmediums ein besonders präzises Ätzergebnis.